主營:玻璃鍍膜線,進(jìn)口真空配件
所在地:
廣東 深圳
產(chǎn)品價(jià)格:
電議(大量采購價(jià)格電議)
最小起訂:
0
物流運(yùn)費(fèi):
買家承擔(dān)運(yùn)費(fèi)
發(fā)布時(shí)間:
2015-10-12
有效期至:
2015-11-12
產(chǎn)品詳細(xì)
預(yù)真空室具有雙層基片承載盤升降機(jī),使得裝卸基片和濺射工藝同時(shí)進(jìn)行,從而實(shí)現(xiàn) “in-line”連續(xù)在線工作方式。由上至下濺射方式,12”x12”尺寸的基片承載盤,可放置不同尺寸及形狀的基片。基片承載盤單次/多次掃描沉積方式,準(zhǔn)確地控制沉積膜的厚度,不需要膜厚檢測器,避免了因膜厚檢測器的測量誤差以及傳感器的消耗,節(jié)省了運(yùn)行成本。生產(chǎn)量:9個(gè)4” 基片/次,6個(gè)6” 基片/次,1個(gè)12” 基片/次。 3靶位/4靶位結(jié)構(gòu)的工藝室,射頻/直流開關(guān)切換網(wǎng)絡(luò),可實(shí)現(xiàn)射頻磁控濺射、直流磁控濺射、射頻二極管濺射和反應(yīng)濺射。長方形平板式磁控陰極, 尺寸可為5”x15” 、5”x17” 和 3”x17”特殊設(shè)計(jì)的各種嵌入式磁控陰極,實(shí)現(xiàn)高膜厚均勻性和高靶材有效使用率;特別是貴重金屬(鉑,金)的沉積,可達(dá)到60%的靶材有效使用率?;A(yù)加熱功能和預(yù)清洗功能,以及可移動(dòng)擋板,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的沉積膜。CTI 冷凝泵組,確保工藝室真空,以得到高質(zhì)量的沉積膜。行星承載盤,使得基片具有自傳和公轉(zhuǎn)的功能,以提高濺射膜厚均勻性
深圳市昊光機(jī)電應(yīng)用科技有限公司
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