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氧化鋁靶材Al2O3磁控濺射靶材

產品信息

產品詳細

產品介紹        氧化鋁(Al2O3)在礦業(yè)、制陶業(yè)和材料科學上又被稱為礬土,是一種高硬度的兩性氧化物,能溶于無機酸和堿性溶液中,幾乎不溶于水及非較性農業(yè)生產體系溶劑;白色固體,無臭、無味、質較硬,易吸潮而不潮解(灼燒過的不吸濕)。在高溫下可電離的離子晶體,常用于制造耐火材料。用作分析試劑、農業(yè)生產體系溶劑的脫水、吸附劑、農業(yè)生產體系反應催化劑、研磨劑、拋光劑、冶煉鋁的原料、耐火材料。 產品參數(shù) 中文名 氧化鋁              化學式 Al2O3 分子量 101.96              熔點 2054ºC 沸點 2980ºC                密度 3.5-3.9g/cm3       強烈建議陶瓷化合物靶材綁定背靶使用。陶瓷靶材質脆,受熱不均勻易裂。不建議超過3mm。 推薦綁定銅背靶,以增強導熱導電性。減少靶材碎裂的可能。 陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差,連續(xù)長時間濺射易發(fā)生裂靶情況,綁定背靶后,可以提高化合物靶材的導熱性能,提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率,從而提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您,選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶!

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