藍(lán)寶石襯底基片清洗機(jī)一、設(shè)備外型結(jié)構(gòu)及主要參數(shù)   名稱：藍(lán)寶石襯底基片清洗機(jī)。   控制模式:  手動控制模式   自動控制模式。   清洗能力：2-8英寸， 2籃/批，25片/籃。   需甲方提供花籃。   設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型。   潔凈度：千級潔凈室 。 二、工藝流程細(xì)節(jié)及槽體布局及配置   工藝說明:手動方式實(shí)現(xiàn)放片，取片，槽體間傳送片。   工藝參數(shù)（溫度，時(shí)間，DI水清洗流量，時(shí)間）手動設(shè)定。   設(shè)備臺面布局按用戶要求配制。