主營(yíng):硅片清洗機(jī),硅片腐蝕設(shè)備,硅片腐蝕臺(tái),化學(xué)清洗臺(tái),晶圓清洗機(jī)
所在地:
北京 北京 通州區(qū)
產(chǎn)品價(jià)格:
電議(大量采購(gòu)價(jià)格電議)
最小起訂:
0
物流運(yùn)費(fèi):
買家承擔(dān)運(yùn)費(fèi)
發(fā)布時(shí)間:
2014-07-31
有效期至:
2014-08-30
產(chǎn)品詳細(xì)
LED系列-全自動(dòng)有機(jī)清洗臺(tái) ※ 控制模式: 手動(dòng)控制模式 自動(dòng)控制模式;※ 清洗規(guī)格: 2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;※ 設(shè)備形式: 室內(nèi)放置型;※ 尺寸(參考,含地腳):3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2000+1000 mm(H);※ 工藝說(shuō)明:全程機(jī)械傳動(dòng),自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件全程自動(dòng)化控制,工藝過(guò)程中沒(méi)有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;※ 腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性;※ 工藝參數(shù)(溫度,時(shí)間,DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào))手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定;※ 機(jī)臺(tái)前方為清洗工作區(qū)域,機(jī)臺(tái)后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域?!?機(jī)械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用***伺服馬達(dá),閉環(huán)控制,定位精度≤0.3mm,可靠性高;※ 采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng),幾何曲線加減速運(yùn)動(dòng),沖擊小、運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)。※ 為確保清洗工藝和機(jī)械手的使用壽命,機(jī)械手由多種工業(yè)材料和特殊的表面處理構(gòu)成。
北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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