AZQ 液氨加熱至800～850℃，在鎳基催化劑作用下，將氨進行分解，可以得到含75%H2、25%N2的氫氮混合氣體: 用此法制得的氣體是一種良好的保護氣體，可以廣泛地應用于半導體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護氣氛的其他工業(yè)和科學研究中。 用液氨分解來制取保護氣體，在工業(yè)上是很容易實現(xiàn)的，這是因為： 1、氨易分解：常壓，800～850℃在催化劑作用下，即使空速非常大，氨分解度仍可超過99%。 2、氣體精制容易：作為液氨純度是很高的，其中揮發(fā)性雜質(zhì)只有少是惰性氣體和水分，特別值得注意的是其中含O2較微，同時，氨分解時不可能有副反應發(fā)生。由此可見，氨分解后氣體只要設法除去比較容易除去的少量水分就能得到精制了，半導體工業(yè)上所不希望存在的金屬離子cl、CO2等問題都不存在了。 3、原料液氨容易得到。廉，而且原料消耗也比較少（每公斤氨可產(chǎn)生2.6M3混合氣體。） 氨瓶中蒸發(fā)出來的氨氣經(jīng)過氨閥控制后進入分解爐，分解爐內(nèi)裝有鎳基觸媒，在800～850℃溫度下進行分解，分解后高溫氣體經(jīng)熱交換器進行冷卻，而氨氣進預熱，氨分解裝置出口接有分子篩的氣體凈化裝置?？梢赃M一步提高混合氣的純度。 本裝置液氨瓶送來的氨經(jīng)過進氨閥進入汽化器，汽化器內(nèi)裝有電加熱元件，電加熱元件對汽化器內(nèi)的水加熱，一般水溫控制在45-60℃，液氨在汽化器內(nèi)得到溫水傳過來的熱量。汽化成氣態(tài)氨，一般汽化后的氨壓力控制在0.4-0.5MPa，氨氣經(jīng)減壓閥減壓后，壓力調(diào)到0.05 MPa左右。經(jīng)過降壓后的氨氣由耐腐流量計量，從流量計流出的氨氣在熱交換器中進行熱量交換，使氨氣溫度升高，由分解爐出來的高溫混合氣被降溫，經(jīng)升溫后的氨氣進入分解爐進行分解成氫氮混合氣，高溫混合氣進入熱交換器，水冷卻器降溫，然后送到使用地點。如果需要純度較高的氫氮混合氣，后面可以用FC型純化裝置進行純化處理。