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多槽清洗機

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

1)采用工控機 PLC 條碼槍控制,方便信息的讀取、記錄,可與工廠MES系統(tǒng)相連接 2)適用于多種規(guī)格硅片、晶圓片的腐蝕清洗,同一臺設備可編程多套運行軟件 3)根據(jù)工藝需求,槽體可匹配超(兆)聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 4)全自動控制,可選擇自動配補液,保證了操作的安全穩(wěn)定性 5)高速移栽機械手,伺服驅(qū)動控制,保證運行平穩(wěn),定位可靠 6)采用國際品牌的電氣元件  

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