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ESLP-2系列二維壓電平移臺

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

產(chǎn)品介紹: ESLP-2系列壓電馬達二維平臺,采用壓電馬達驅(qū)動和整體式結(jié)構(gòu)設計,避免了傳統(tǒng)伺服電機或步進電機因結(jié)構(gòu)和驅(qū)動方式造成的回程誤差。平臺采用了光柵及專業(yè)的運動控制卡進行全閉環(huán)的位置反饋及運動控制,確保了該平臺很佳的運動特性及定位精度。   產(chǎn)品特點: 1.直驅(qū)方式,無空回誤差 2.可在斷電狀態(tài)下長時間保持在同一位置 3.全閉環(huán)光柵反饋,重復定位精度優(yōu)于±0.5um(有0.5um和0.05um分辨率兩個系列的標準品) 4.靈活的平臺控制程序,可滿足多種運動需求     產(chǎn)品選型表: 產(chǎn)品型號 ESLP50-2 ESLP100-2 ESLP150-2 行程 50 100 150 很大推力(N) 16 很大速度(mm/s) 200 很小步長(nm) 50 光柵分辨率(um) 0.5(1um和50nm)光柵可選 重復定位精度(um) <±2um     很大負載(kg) 3.5 4.5 5 結(jié)構(gòu)材質(zhì) 鋁合金/不銹鋼  

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