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前沿真空設備供應LOW-E玻璃生產(chǎn)線

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細

  low-e玻璃是在優(yōu)質的浮法玻璃基片表面上用磁控濺射的方法,鍍制多層特殊的金屬、化合物薄膜及介質膜,對遠紅外光具有雙向作用,既可以阻止太陽光產(chǎn)生的熱輻射進入室內(nèi),又可以將室內(nèi)物體產(chǎn)生的熱反射回來,從而降低玻璃的熱輻射通過量,具有其它節(jié)能玻璃所不具備的優(yōu)勢。 該生產(chǎn)線主要由清洗系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、鍍膜系統(tǒng)、檢測系統(tǒng)及控制系統(tǒng)組成。 主要性能特點: 1、采用旋轉孿生靶中頻反應濺射技術,大大提高了介質膜的沉積速率及膜層的均勻度,且靶材利用率大大提高;  2、采用先進的PEM閉環(huán)控制系統(tǒng),確保反應濺射在金屬濺射的過渡區(qū),大大提高了反應濺射的效率及膜層成分的準確性; 3、真空室內(nèi)部高、低真空區(qū)采用多級真空鎖進行隔離,每個濺射區(qū)根據(jù)靶材不同采用有效的氣體隔離,保證每個濺射區(qū)氣壓的穩(wěn)定性,工藝氣體純度及穩(wěn)定性。 4、過程控制采用美國AB公司系列PLC及控制設備,系統(tǒng)通訊通過ControlNet網(wǎng)絡實現(xiàn)各設備間的信息交換,使整個系統(tǒng)結構簡單可靠,從而可在手動/自動控制間從容切換; 5、采用光學在線檢測系統(tǒng),快速采集濺射過程基片的透射、反射光光譜等各種數(shù)據(jù)和曲線,并和設定標準數(shù)據(jù)相比較,對濺射過程進行有效控制;  

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