PA-300-XL SIC       在PA系類設備的基礎上，加裝晶圓專項使用的裝置，可以效率高的測量SIC和藍寶石這類光學性能特殊的產品的雙折射和殘余應力的信息。 主要特點：操作簡單，測量速度可以快到3秒。視野范圍內可一次測量，測量范圍廣。更直觀的一體讀取數據，無遺漏數據點。具有多種分析功能和測量結果的比較。維護簡單，不含旋轉光學濾片的機構。高達2056x2464像素的偏振相機。應用領域:    SIC   藍寶石技術參數：       項次           項目            具體參數1 輸出項目 相位差【nm】，軸方向【°】，相位差與應力換算（選配）【MPa】 2測量波長520nm 3雙折射測量范圍0-130nm 4測量小分辨率0.001nm 5測量重復精度<1nm（西格瑪） 6視野尺寸40x48mm到240x320mm（標準） 7選配鏡頭視野不適用 8選配功能    實時解析軟件，鏡片解析軟件，數據處理軟件，實現外部控制