主要配置 主要配置 參數(shù) 型號(hào) G3 Base 振鏡參數(shù) 入射光斑 10mm 跟隨誤差 0.2ms 標(biāo)刻速度 5000mm/s 定位速度 10000mm/s 1%全行程 0.32ms 10%全行程 1.2ms 重復(fù)精度 < 2µrad 增益漂移 < 150ppm/K 零位漂移 < 50µrad/K 8小時(shí)漂移 < 0.2mrad 非線(xiàn)性度 < 1% 掃描角度 ±0.35rad 信號(hào)波長(zhǎng) 通訊協(xié)議 XY2-100 波長(zhǎng) 10600nm、1064nm、532nm、 355nm 供電參數(shù) 供電電源 ±15V DC，5A 基本參數(shù) 重量 1800g 工作溫度 25±10℃   典型應(yīng)用 G3 Base振鏡可用于3C電子、器械、激光清洗、汽車(chē)、五金工具等。