型號 參數(shù) JPGF-400 JPGF-450 JPGF-700 濺射室尺寸（內(nèi)徑×高度） Φ400×250 Φ450×270 Φ700×350 濺射方向 由下往上（或由上往下） 真空室頂蓋提升 電動 極限壓力／Pa 8×10-5 抽氣時間／min 從1×105 Pa至2×10-3Pa≤20 濺射工作壓力／Pa 10 ~10-1 真空系統(tǒng) 分子泵系統(tǒng) 氣動閥門 濺射靶尺寸／mm Φ60 Φ80 Φ100或Φ150 濺射靶數(shù)量／套 3 濺射靶電源 射頻 功率／W 500 1000 1000 數(shù)量／套 1 直流 功率／W 1000 2000 4000 數(shù)量／套 1 工件旋轉(zhuǎn)／r·min-1 5 ~ 25 工件盤直徑／mm Φ350 Φ400 Φ600 烘烤溫度／℃ 室溫~ 300℃ （可調(diào)） 工藝氣體控制方式 一套質(zhì)量流量控制器，一套自動壓強儀 冷卻水流量／L·min-1 ~ 15 ~ 20 水壓／kPa ≤25 進(jìn)水溫度／℃ ~ 2.5×105 壓縮空氣／kPa （5 ~ 8）×105 用電功率／kW 9 10 20 占地面積／mm 2000×1800×1900 2000×1800×1900 2000×2000×2100