精密光學電子束蒸發(fā)鍍膜機    我公司生產的自動光學真空鍍膜機具有石英晶體膜厚自動控制及光學膜厚自動控制兩種方式,通過PLC和工控機聯合實現對整個鍍膜過程的全程自動控制,包括真空系統(tǒng),烘烤系統(tǒng),蒸發(fā)過程和膜層厚度的監(jiān)控功能,可實現無人值守的自動控制,從而提高了工作效率和保證產品質量的一致性和穩(wěn)定性.應用范圍：    該設備采用e型電子槍蒸發(fā)源，可蒸發(fā)各種高熔點金屬和氧化物，可在玻璃，塑料,陶瓷基體上鍍制各種多層薄膜,如:紅外膜,寬帶增透膜,分光膜 ,冷光膜，IR-CUT膜，干涉截止濾光片，偏振膜,電學膜， 適用于眼鏡，光學鏡頭，精密光學元件，激光和電子行業(yè)的大規(guī)模工業(yè)生產。主要特點：1 電子槍輸出功率穩(wěn)定，特殊結構設計有效杜絕二次電子的產生和電子槍打火。2 轉動采用磁流體引入,長期運轉密封可靠。3 工件轉動座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩(wěn)可靠，徑向和軸向跳動3-5mm。4 采用PLC+觸摸屏控制, 多重泵閥水電互鎖互保護，可全程自動控制,包括真空系統(tǒng),烘烤系統(tǒng),整個蒸發(fā)鍍膜過程。 5 安裝采用全程四極質譜監(jiān)控和氦質譜檢漏, 真空密封性好, 設備工藝穩(wěn)定可靠。6 所有零部件采用國內知名廠家, 電器元件采用進口或合資企業(yè)產品, 設備24小時連續(xù)長期運行可靠穩(wěn)定。基本參數：1. 立式前開門結構，不銹鋼真空室Φ2050X1650mm2. 極限真空：1×10-4Pa（空載清潔真空系統(tǒng)，300°烘烤后）3. 恢復真空時間：大氣至4×10-3Pa≤15min。4. 大抽速主泵，DPM-28A型擴散泵（22000L/s）兩臺，配備防湍流裝置。5. 工件轉動：采用磁流體密封轉動裝置，轉動座多重水冷和重力導向設計，運轉平穩(wěn)可靠。6. 工件烘烤：桶狀上烘烤,三點控溫,烘烤溫度≤350°。7. 永磁E型電子槍，槍功率10KW/支；可配置單槍或雙槍，多穴坩堝和環(huán)形坩堝。 8. 配備美國Inficon公司生產的SQC310C 或IC6型石英晶體膜厚控制儀。9. 10英寸觸摸屏和歐姆龍（PLC）編程控制器，對設備真空系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、工件轉動系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)等進行監(jiān)測和控制，可采用自動和手動兩種模式。10. 可選配Φ16CM的離子源或深冷低溫冷阱。王生：/