<p>Feature：產(chǎn)品名稱：氣體質(zhì)量流量控制器 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2）：0～5、10、20、30、50、100、200、300、500 SCCM； 0～1、2、3、5、10、20、30 SLM 準(zhǔn)精度：±1％F.S； 重復(fù)精度：±0.2%F.S響應(yīng)時(shí)間：電特性 ＜10sec 氣特性＜1～4sec線性：±（0.5～1）％F.S 工作壓差范圍：0.05～0.3MPa耐壓： 3--10MPa； 工作環(huán)境溫度：5～45℃輸入輸出信號電壓：0～+5.00V電源：+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K，輸出電流不大于 3mA)外形尺寸：130*28*121mm重量： 約1.0kg接口尺寸：Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接頭：Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........ DSN系列氣體質(zhì)量流量控制器, 即稱Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置, 是一個(gè)可以手動設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。</p>