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真空磁控濺射鍍膜設(shè)備,鍍膜機(jī)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

產(chǎn)品名稱:MSC系列磁控濺射鍍膜機(jī) 產(chǎn)品描述:MSC型磁控濺射真空鍍膜機(jī)是立式單開門非平衡磁控反應(yīng)濺射鍍膜機(jī)。此設(shè)備所沉積的膜層在致密度、均勻度、純度、硬度等方面均有提高。廣泛應(yīng)用于手表、眼鏡、通訊、電子、機(jī)械、裝飾和交通航空等領(lǐng)域的高檔裝飾和功能薄膜。 主要特點(diǎn):        1、沉積速率快,溫升小,能較好抑制打火及靶中毒現(xiàn)象; 2、濺射釋放的高能量使膜層密度和附著力有顯著提高; 3、觸摸屏+PLC,可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)控制,自動(dòng)/手動(dòng)隨時(shí)切換; 4、鍍膜室容積大,裝載量大,生產(chǎn)效率高。 5、工件架采用公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu),可設(shè)置自動(dòng)正反轉(zhuǎn),產(chǎn)品均勻**好; 6、整機(jī)配置合理,抽氣速率快,噪聲小,耗能低;   基本配置: 1、鍍膜室、閥門、管道均采用不銹鋼制造,立式、單開門結(jié)構(gòu),真空室有效直徑自Φ1000mm~Φ1800mm;; 2、真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、旋片泵、羅茨泵和帶冷阱高真空油擴(kuò)散泵或分子泵組成; 3、鍍膜系統(tǒng)采用2~8套平面靶或柱靶,配有2~8個(gè)直流電源或中頻電源; 4、輔助抽氣系統(tǒng)采用一臺(tái)低溫水汽捕集器; 5、充氣系統(tǒng)采用1~4路氣體流量計(jì)及流量控制(顯示)儀控制; 6、電控系統(tǒng)設(shè)置電路過(guò)載、斷水、斷氣聲光報(bào)警裝置; 7、控制系統(tǒng)(觸摸屏+PLC),實(shí)時(shí)顯示詳細(xì)參數(shù),全自動(dòng)控制整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程,并自動(dòng)存儲(chǔ)工藝參數(shù)。 8、可根據(jù)客戶要求配多套靶源。

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