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供應(yīng)磁控濺射真空鍍膜系統(tǒng)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

<p><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"><span style="font-size: small;">應(yīng)用:適合鍍制高級裝飾鍍膜、合金膜、超導(dǎo)材料、太陽能電池或在工具、模具表面鍍制耐磨、耐腐蝕膜和超硬膜等。廣泛用于塑膠裝飾件、五金件(如手表、手機(jī)外殼、衛(wèi)生潔具、餐具、汽車輪轂等)、玻璃或塑膠鏡片、工具模具等行業(yè)。</span></span></p> </span></p> <p><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"> <div> <table class="MsoTableGrid" style="width: 519.85pt; border-collapse: collapse; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-yfti-tbllook: 480; mso-padding-alt: 0pt 5.4pt 0pt 5.4pt; mso-border-insideh: .5pt solid windowtext; mso-border-insidev: .5pt solid windowtext;" border="1" cellspacing="0" cellpadding="0" width="693"> <tbody> <tr style="mso-yfti-irow: 0; mso-yfti-firstrow: yes;"> <td style="padding-right: 5.4pt; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; width: 153.15pt; padding-top: 0pt; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; border: windowtext 1pt solid;" colspan="2" width="204" valign="top"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt;"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small; font-family: Times New Roman;"> </span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: windowtext 1pt solid; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt;" width="118" valign="top"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">TS-900CJX</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: windowtext 1pt solid; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt;" width="133" valign="top"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">TS-1000CJX</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: windowtext 1pt solid; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt;" width="119" valign="top"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">TS-1250CJX</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: windowtext 1pt solid; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt;" width="119" valign="top"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">TS-900LDM</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 1;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 153.15pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" colspan="2" width="204"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">應(yīng)用</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">五金裝飾鍍膜</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">五金裝飾鍍膜</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">五金裝飾鍍膜</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">工模具鍍膜</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 2;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 68.3pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" rowspan="2" width="91"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">真空室</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Chamber</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">真空室內(nèi)腔尺寸</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Chamber volume</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">900</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">900</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span style="font-family: Times New Roman;"><span lang="EN-US">1000mm</span><span lang="EN-US"></span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">1000</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">1000</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span style="font-family: Times New Roman;"><span lang="EN-US">1000mm</span><span lang="EN-US"></span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">1250</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">1250</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span style="font-family: Times New Roman;"><span lang="EN-US">1400mm</span><span lang="EN-US"></span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">900</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">900</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span style="font-family: Times New Roman;"><span lang="EN-US">1100mm</span><span lang="EN-US"></span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 3;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">結(jié)</span><span style="font-family: Times New Roman;"> </span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">構(gòu)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Structure</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">箱式,前開門</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Box-type</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">箱式,前開門</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Box-type</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">箱式,前開門</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Box-type</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">箱式,雙開門</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small; font-family: Times New Roman;"> </span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 4;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 68.3pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" rowspan="2" width="91"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">旋轉(zhuǎn)夾具</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Carrier</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">公轉(zhuǎn)速度</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Rotary speed</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">1-15rpm</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">1-15rpm</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">1-10rpm</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">1-10rpm</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 5;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">夾具形式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Substrate carrier</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">公自轉(zhuǎn)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Revolution or planetary</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">公自轉(zhuǎn)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Revolution or planetary</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">公自轉(zhuǎn)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Revolution or planetary</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">公自轉(zhuǎn)</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">/</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">雙級公自轉(zhuǎn)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 6;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 68.3pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" rowspan="2" width="91"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">鍍膜方式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Coating mode</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">濺射電源</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Power</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">直流或中頻</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">DC or MF</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">直流或中頻</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">DC or MF</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">直流或中頻</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">DC or MF</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">直流或中頻</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">DC or MF</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 7;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">磁控靶</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Target</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">平面靶或圓柱靶</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Rectangular or circular</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">平面靶或圓柱靶</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Rectangular or circular</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">平面靶或圓柱靶</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Rectangular or circular</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">平面靶或圓柱靶</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Rectangular or circular</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 8;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 153.15pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" colspan="2" width="204"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">配氣系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Gas charging system</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Pressure controller+MFC</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Pressure controller+MFC</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Pressure controller+MFC</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">自動(dòng)壓強(qiáng)控制+多路氣體質(zhì)量流量控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Pressure controller+MFC</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 9;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 153.15pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" colspan="2" width="204"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">其他選配組件</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Other components</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">電弧靶及電源、偏壓電源、線形離子源、高溫烘烤系統(tǒng)、膜厚控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Muti-arc source, Ion source, heating system,film thickness monitor etc.</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">電弧靶及電源、偏壓電源、線形離子源、高溫烘烤系統(tǒng)、膜厚控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Muti-arc source, Ion source, heating system,film thickness monitor etc.</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">電弧靶及電源、偏壓電源、線形離子源、高溫烘烤系統(tǒng)、膜厚控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Muti-arc source, Ion source, heating system,film thickness monitor etc.</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">電弧靶及電源、偏壓電源、線形離子源、高溫烘烤系統(tǒng)、膜厚控制系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Muti-arc source, Ion source, heating system,film thickness monitor etc.</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 10;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 68.3pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" rowspan="2" width="91"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">設(shè)備操作系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Controlling mode</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">自動(dòng)控制</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Automatic</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">觸摸式人機(jī)界面或帶監(jiān)控軟件的計(jì)算機(jī)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">PLC or interface</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">觸摸式人機(jī)界面或帶監(jiān)控軟件的計(jì)算機(jī)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">PLC or interface</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">觸摸式人機(jī)界面或帶監(jiān)控軟件的計(jì)算機(jī)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">PLC or interface</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">觸摸式人機(jī)界面或帶監(jiān)控軟件的計(jì)算機(jī)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">PLC or interface</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 11;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">手動(dòng)操作</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Manual</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">按鍵式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Manual</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">按鍵式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Manual</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">按鍵式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Manual</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">按鍵式</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Manual</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 12;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: windowtext 1pt solid; width: 68.3pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" rowspan="2" width="91"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">抽氣系統(tǒng)</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Pump system</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">抽真空速度</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Vacuum recovery</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-3</sup>Pa</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"><</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">20min</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-3</sup>Pa</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"><</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">20min</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-3</sup>Pa</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"><</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">20min</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-3</sup>Pa</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";"><</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">20min</span></span></span></p> </td> </tr> <tr style="mso-yfti-irow: 13; mso-yfti-lastrow: yes;"> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 84.85pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="113"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">極限真空度</span><span lang="EN-US"></span></span></p> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span lang="EN-US"><span style="font-size: small;"><span style="font-family: Times New Roman;">Ultimate pressure</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.8pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="118"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-4</sup>Pa</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 100.1pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="133"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-4</sup>Pa</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-4</sup>Pa</span></span></span></p> </td> <td style="border-right: windowtext 1pt solid; padding-right: 5.4pt; border-top: #ffffff; padding-left: 5.4pt; padding-bottom: 0pt; border-left: #ffffff; width: 88.9pt; padding-top: 0pt; border-bottom: windowtext 1pt solid; background-color: transparent; mso-border-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-left-alt: solid windowtext .5pt; mso-border-top-alt: solid windowtext .5pt;" width="119"> <p class="MsoNormal" style="margin: 0pt; text-align: center;" align="center"><span style="font-size: small;"><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">5</span></span><span style="font-family: 宋體; mso-ascii-font-family: "Times New Roman"; mso-hansi-font-family: "Times New Roman";">×</span><span lang="EN-US"><span style="font-family: Times New Roman;">10<sup>-4</sup>Pa</span></span></span></p> </td> </tr> </tbody> </table> </div> </span></p>

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