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臺式勻膠機(jī)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

臺式勻膠機(jī) 中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會CSIA推薦中國著名品牌 SIYOUYEN® 臺式勻膠機(jī):(Spin   Coater)適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,基片,液晶片,華陽板等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。詳細(xì)介紹: 勻膠機(jī)(英文名:Spin Coater)   行業(yè)俗稱:勻膠臺,甩膠機(jī),涂膠機(jī),鍍膜機(jī),涂層機(jī),旋涂機(jī),旋涂儀等。   型號MODEL KW-5型 產(chǎn)品概述:  SIYOUYEN品牌KW型勻膠機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆.  勻膠機(jī)穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證半導(dǎo)體中膠厚度的一致性和均勻性,這正是KW型均勻膠機(jī)的特點(diǎn).  該機(jī)在這方面采取了許多措施:  (一)該設(shè)備采用美國先進(jìn)技術(shù),采用進(jìn)口配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子,美國電機(jī)) (二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000~5000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.  (三)本勻膠機(jī)有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運(yùn)轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運(yùn)轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).  (四)本勻膠機(jī)測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍,盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級.  (五)"吸片"采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個氣泵可同時帶幾個勻膠機(jī)工作,提高了效率.  (六)勻膠機(jī)的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間. (七)智能型調(diào)節(jié)勻膠時間,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘. (八)在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減振措施,保證了在運(yùn)轉(zhuǎn)時噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度. (九)勻膠機(jī)配真空泵使用(KW-5型勻膠機(jī) 推薦使用雙級無油環(huán)保真空泵 SML-140型)  1,特點(diǎn)是雙轉(zhuǎn)速勻膠機(jī),兩檔轉(zhuǎn)速及勻膠時間分別連續(xù)節(jié),在啟動后先低速運(yùn)轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后轉(zhuǎn)換到高速運(yùn)轉(zhuǎn).  Ⅰ檔  調(diào)速范圍:500 -1000轉(zhuǎn)/分   Ⅰ檔  勻膠時間:2-18秒  Ⅱ檔  調(diào)速范圍:1000-5000轉(zhuǎn)/分  Ⅱ檔  勻膠時間:3-60秒  2,進(jìn)口轉(zhuǎn)子,穩(wěn)定性能更好,轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)以數(shù)字顯示為準(zhǔn).3,LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度:±1%  ,膠的均勻性:±3%  . 4,三相電源:380V 5,電機(jī)功率:180W   6,適用:Φ100-Φ200mm(4”~~8”)硅片及其它材料等勻膠.  7,真空泵抽氣速率   ≥1200升/分   8,設(shè)備尺寸:500×500×460   mm   

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