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自動曝光機(jī)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

 技術(shù)參數(shù) 外 形 尺 寸:2400×2100×2000mm 工件尺寸:450X550mm(可根據(jù)客戶要求) 工件厚度:0.3 — 1.1mm 對位精度:±0.0025mm   曝光線寬線距:0.01-0.015mm 平臺平面度: ± 0.015mm 傳輸面高度:900mm ±25mm 生產(chǎn)節(jié)拍:25S/pcs 控制系統(tǒng):PLC+觸摸屏 電  源 :三相380VAC  40KW 壓 縮 氣 源:5 Kg/cm2      50L/Min 冷卻水:2 Kg/cm2 20L/Min   溫度≤15度 重  量 :約1000Kg  功能與特點(diǎn) ◆主要用于玻璃、硅片表面涂布后進(jìn)行的曝光的專用設(shè)備; ◆該機(jī)由入料傳輸+光源系統(tǒng)+機(jī)械手搬運(yùn)+自動對位系統(tǒng)+自帶冷風(fēng)系統(tǒng)組成; ◆對位系統(tǒng)采用日本法視特視覺系統(tǒng)+UVW平臺;具有對位精度高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn); ◆光源系統(tǒng)采用日本進(jìn)口平行光源;曝光精度高、光照均勻性好; ◆檢測玻璃厚度和間隙采用日本進(jìn)口的位移傳感器,具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快、壽命長等特點(diǎn); ◆整機(jī)內(nèi)部全部采用黑色烤漆處理;防止曝光時反光引起曝光不均勻。

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