Bump高度、直徑、共面性在線檢測

l  凸塊（Bump）高度

l  凸塊（Bump）共面性

l  凸塊（Bump）直徑

多光束共聚焦光學(xué)系統(tǒng)

如果反射光線的物體表面位于與點光源共軛的位置，那么高速測量是不可能的。只有與單個zj共軛的單一光束測量才能實現(xiàn)。此系統(tǒng)的測量傳感器在zj陣列中擁有超過3百萬個zj點，能夠通過多光束系統(tǒng)實現(xiàn)高速測量。