真空系統(tǒng)中真空腔體的設計有哪些要點？

真空系統(tǒng)中真空腔體的設計是整個系統(tǒng)性能的關鍵之一。一個優(yōu)良的真空腔體設計可以提高系統(tǒng)的真空度、減少泄漏速率、改 善工作效率和延長設備壽命。下面將介紹一些設計真空腔體的要點：

材料選擇：真空腔體的材料要求具有較高的機械強度、耐腐蝕性和導熱性，并且要具有較低的氣體蒸發(fā)速率。一般情況下，不銹鋼、鋁合金、鈦合金等金屬材料是常用的選擇。

結構設計：真空腔體的結構設計應該盡量簡單，以減少對真空度的影響。避免設計過多的尖角和突起，減少漏氣和蒸發(fā)的可能性。同時，要保證真空腔體的密封性能良好。

泄漏口的設計：在真空腔體中盡量減少泄漏口的數量和大小，合理布局泄漏口，防止氣體泄漏進入腔體內，影響真空度。