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雙面拋光機

產品信息

產品詳細

該設備主要適用于半導體硅片、磁性材料、藍寶石、光學玻璃、金屬材料及其它硬脆材料的雙面高精度的拋光加工。   主要特點:1、 該機采用四動拋光原理;二電機分別拖動上下拋盤、太陽輪、內齒圈;PLC調整設定控制;文本顯示。2、 高精密的氣動控制系統(tǒng)確保了工件壓力的準確性。3、 主要運動副采用了強制集中潤滑。4、 拋光液系統(tǒng)具有獨立攪拌、循環(huán)水冷卻功能。主要參數(shù)及加工能力:1、 拋光拖動電機:5.5KW  380V  1440rpm。2、 太陽輪拖動電機:1.5KW  380V  1440rpm。3、 上拋盤規(guī)格:φ570mm×φ170mm×30mm。4、 下拋盤規(guī)格:φ570mm×φ170mm×30mm。5、 游輪參數(shù):公制Z=117    M=2。6、 游輪數(shù)量:4片。7、 粗糙度:Rz0.3~Rz0.68、 較大拋光直徑:160mm。9、 下拋盤轉速范圍:0—50rpm。10、 需配備空氣源壓力:0.5—0.6Mpa11、 下拋盤的端面跳動量:≤0.04mm。12、 下拋盤的平面度:0.015 mm。13、 設備外形尺寸:(長×寬×高)1400mm×1200mm×2400mm。14、 重量:   約2800kg。

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