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12寸全自動堿腐蝕機

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

1)適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗，同一臺設(shè)備可編程多套運行軟件 2)根據(jù)工藝需求，槽體可匹配超聲、抖動、旋轉(zhuǎn)、循環(huán)過濾等功能 3)全自動控制，可選擇自動配補液，保證了操作的安全穩(wěn)定性 4)高速移載機械手，伺服驅(qū)動控制，保證運行平穩(wěn)，定位可靠 5)機械手直接夾取PFA卡塞，更好的滿足客戶需求 6)采用國際知名電氣元件  

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