1） 采用工控機(jī) PLC 條碼槍控制，方便信息的讀取、記錄，可與工廠MES系統(tǒng)相連接； 2） 適用于多種規(guī)格硅片的腐蝕清洗，同一臺(tái)設(shè)備可編程多套運(yùn)行軟件； 3） 跟據(jù)工藝需求，槽體可匹配超（兆）聲、抖動(dòng)、旋轉(zhuǎn)、溢流循環(huán)等功能； 4） 全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配、補(bǔ)液，保證了操作的安全穩(wěn)定性； 5） 高速移載機(jī)械手，伺服驅(qū)動(dòng)控制，保證運(yùn)行平穩(wěn)，定位可靠； 6） 機(jī)械手直接夾取PFA籃筐（或夾取片子），更好的滿足工藝需求。