【中玻網(wǎng)】日前，寰采星科技（寧波）有限公司入駐寧波海曙高橋鎮(zhèn)，并投入運(yùn)營。這是一家高精度金屬掩膜板（FMM）的企業(yè)。

　　據(jù)寧波寰采星公司總經(jīng)理許宗義介紹，目前項(xiàng)目一期工程落戶在寧波海曙區(qū)高橋鎮(zhèn)，辦公室和人員均已入駐，正在進(jìn)行廠務(wù)無塵室改造工程。項(xiàng)目進(jìn)展順利，預(yù)計(jì)2020年2月設(shè)備安裝調(diào)試，6月試生產(chǎn)完成。樣品通過客戶端驗(yàn)證后，進(jìn)行量產(chǎn)，9月以后開始創(chuàng)造營收。

　　許宗義還表示，公司未來的二期、三期工程將擴(kuò)產(chǎn)FMM產(chǎn)線10條，總投入資金額12億元，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值35億元，年稅收4億元，占中國市場份額的40%。

　　據(jù)OLEDindustry查閱天眼查發(fā)現(xiàn)，寧波寰采星公司由多家公司參與，還有行業(yè)內(nèi)的面板人士參與。

　　據(jù)悉，蒸鍍問題是AMOLED的核心問題，而準(zhǔn)確遮罩蒸鍍技術(shù)（FMM）是用來解決蒸鍍農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系材料RGB三基色的像素陣列涂布。也是目前實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的彩色化技術(shù)方案。由韓企三星電子率先開發(fā)成功，我國目前基本沿用此技術(shù)。

　　據(jù)了解，三星AMOLED產(chǎn)品綜合良率柔性屏為80%左右，而剛性屏達(dá)到90%以上。國內(nèi)首先量產(chǎn)的京東方成都六代中小尺寸柔性生產(chǎn)線（B7）采用Tokki蒸鍍機(jī)，于去年10月份量產(chǎn)。經(jīng)過幾個(gè)月的良率爬坡，到今年3月份時(shí)，綜合良率已經(jīng)爬升到65%【1】。而根據(jù)相關(guān)測算，剛性屏良率需達(dá)到80%以上，制造成本才和LCD相當(dāng)。

　　表1.中國大陸AMOLED生產(chǎn)企業(yè)

　　圖1.AMOLED面板在各良率數(shù)字中的生產(chǎn)成本(Source:NPDDisplaySearch)

　　制造AMOLED的準(zhǔn)確遮罩蒸鍍技術(shù)，其原理如下所示：

　　圖2.AMOLED蒸鍍原理示意圖

　　用于蒸鍍的LTPS玻璃基板，必須與FMM緊密貼合。否則就有混色不良產(chǎn)生。為了實(shí)現(xiàn)這一目的，蒸鍍過程中采用cooling plate下壓玻璃基板，采用magnet往上吸FMM，以清理兩者之間的gap。另外，F(xiàn)MM的slot開孔必須與LTPS玻璃基板上陽較圖案準(zhǔn)確套合，否則蒸鍍材料會鍍偏造成混色。因此，決定蒸鍍良率的兩個(gè)關(guān)鍵因素：FMM與玻璃基板的貼合和套合。

　　1、貼合

　　影響貼合的主要因素有FMM平坦度，cooling plate的結(jié)構(gòu)、位置和磁力大小。其中FMM平坦度涉及到MASK的設(shè)計(jì)和制作工藝，本文不展開討論。cooling plate目前有兩種技術(shù)方案。一是Tokki采用的無冷卻水方式。優(yōu)勢是能減輕plate下壓的重量，減少破片風(fēng)險(xiǎn)的產(chǎn)生。而且無冷卻水，結(jié)構(gòu)可以做薄，減少對磁鐵的損耗。但是這會帶來一個(gè)問題，隨著蒸鍍過程的進(jìn)行，F(xiàn)MM和plate溫度的變化造成MASK和玻璃基板的變形，不利于蒸鍍套合的穩(wěn)定。因此，Tokki蒸鍍設(shè)備的長期穩(wěn)定性，有待實(shí)踐檢驗(yàn)。cooling plate除去Tokki，其他蒸鍍設(shè)備商都采用循環(huán)水冷卻。好處是可以保證整個(gè)蒸鍍過程中，MASK溫度上升不超過5℃。能有效降低MASK和玻璃基板的變形，增加蒸鍍過程的穩(wěn)定性。但另一方面，cooling plate厚度的增加造成重量的過重，容易產(chǎn)生對玻璃的擠壓而破片。而且，也會增加對磁力的損耗。如Tokki蒸鍍機(jī)磁力能達(dá)到500Gs,而其他廠商在300 Gs。但從實(shí)踐的效果來看，300 Gs的磁力并不會影響貼合的效果。

　　2、套合

　　為提高AMOLED屏幕的發(fā)光效率，要求RGB像素開口率越高越好。然而開口率的增加，會降低像素之間的間隙(PDL Gap)。因此在特定的工藝條件下，為避免套合偏位混色，PDL Gap小尺寸滿足如下公式：

　　式中Margin表示工藝余量；

　　Shift表示蒸鍍原因造成的PPA偏移；

　　TP、CD、PPA和alignment分別表示LTPS玻璃像素精度，F(xiàn)MM slot開孔尺寸精度，mask張網(wǎng)精度和蒸鍍對位精度。

　　對于分辨率越高的顯示屏，PPA和shift等參數(shù)管控要求越高。

　　在以上所有影響套合精度的因素中，MASK PPA和蒸鍍shift是影響大的關(guān)鍵因子。他們決定了AMOLED生產(chǎn)廠商的技術(shù)能力。

　　表2.不同分辨率下對應(yīng)的工藝技術(shù)要求

　　為表述方便，我們引入一個(gè)概念——蒸鍍PPA。它表示的是實(shí)際蒸鍍位置和LTPS玻璃陽較圖案之間的位置偏差。依據(jù)上述公式可得：

　　2.1蒸鍍shift

　　導(dǎo)致蒸鍍shift的主要原因是溫度變化及MASK所受到的應(yīng)力。

　　2.1.1溫度影響

　　蒸鍍過程中，農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系材料被加熱到200-400℃之間，透過mask在玻璃上凝結(jié)。中間放出熱量使玻璃基板和mask溫度升高。在熱膨脹因素的作用下，玻璃基板的陽較圖案出現(xiàn)膨脹。而mask像素孔出現(xiàn)收縮。另一方面，熱量使mask frame框架膨脹。因此，溫度對蒸鍍PPA的影響較為復(fù)雜。需對結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)相應(yīng)的規(guī)律。

　　2.1.2應(yīng)力影響會發(fā)生形變。也會造成mask PPA的變化。這種變化一般來講沒有規(guī)律，只能調(diào)節(jié)。Mask frame在cooling plate的壓力作用下蒸鍍設(shè)備盡可能地降低該影響。

　　在重力作用的影響下，Mask stick在與玻璃基板接觸時(shí)也會因?yàn)閼?yīng)力而產(chǎn)生偏移。這部分應(yīng)力主要有擠壓應(yīng)力和摩擦應(yīng)力，不同stick在該應(yīng)力的作用下會出現(xiàn)不同的偏移情況。

　　正因?yàn)檎翦僺hift的存在，造成蒸鍍套合PPA的控制是整個(gè)蒸鍍過程中關(guān)鍵的一環(huán)。目前的解決方案是總結(jié)mask的PPA變化規(guī)律，在張網(wǎng)時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償。即便如此，蒸鍍shift也不能完全清理。而且，玻璃基板尺寸越大，該shift值也越大。這也是目前AMOLED只能做到中小尺寸的原因。

　　從國內(nèi)量產(chǎn)的情況來看，部分廠商能把蒸鍍shift控制到3um以內(nèi)。只有做到這個(gè)水準(zhǔn)，蒸鍍的技術(shù)才能說被基本掌握。

　　2.2 MASK PPA

　　FMM張網(wǎng)制作精度用PPA來表示。從表2可以看出，隨著屏幕分辨率的提高，mask張網(wǎng)精度要求不斷提升。制作全高清屏幕，一般要求mask PPA低于5um。目前通過工藝改善，國內(nèi)有部分廠商能達(dá)到這一水平。FMM stick來料精度、張網(wǎng)過程，焊接偏移，CF加載情況等均影響到mask精度。

　　圖3.蒸鍍套合PPA（藍(lán)色為設(shè)計(jì)點(diǎn)位，棕色為實(shí)際蒸鍍位置）

　　總體來說，國內(nèi)已量產(chǎn)企業(yè)對于AMOLED技術(shù)并未取得一體打破。都存在某些方面的技術(shù)短板。但每家公司面臨的技術(shù)問題不一樣。比如有的解決了貼合問題，而蒸鍍套合PPA過大。而另外一些解決了套合問題，但貼合存在不良。因此，如果能綜合各家經(jīng)驗(yàn)，中國在攻克AMOLED技術(shù)的道路上會順利很多。