肖特在日本推出新型光敏玻璃
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【中玻網(wǎng)】德國(guó)特種玻璃廠商肖特（SCHOTT）將在日本市場(chǎng)推出光敏玻璃“FOTURANII”，該產(chǎn)品可在紫外線照射下結(jié)晶化，可用做半導(dǎo)體及生物技術(shù)領(lǐng)域的玻璃基板。
在紫外線照射下，玻璃本身會(huì)發(fā)生變質(zhì)，再經(jīng)過(guò)熱處理就會(huì)結(jié)晶化（陶瓷化），成為光敏玻璃。無(wú)需使用光刻膠，只用氫氟酸即可僅蝕刻結(jié)晶化的部分。肖特新產(chǎn)品的特點(diǎn)是，玻璃部與陶瓷部的蝕刻選擇比高達(dá)30：1，容易加工。
使用光刻膠蝕刻普通玻璃時(shí)，蝕刻會(huì)向各向同性發(fā)展，因此很難實(shí)現(xiàn)高深寬比加工。而感光性玻璃是選擇性蝕刻結(jié)晶化的部分，從原理上來(lái)說(shuō)沒(méi)有深寬比限制，因此能夠?qū)崿F(xiàn)20～30μm的微細(xì)圖案加工。
曝光時(shí)推薦使用波長(zhǎng)320nm的紫外線，可使用“UV300”曝光裝置。雖然使用紫外線激光器時(shí)掃描耗費(fèi)時(shí)間，但不需要掩模。而且，利用激光的焦點(diǎn)，還可實(shí)現(xiàn)玻璃基板內(nèi)部的隧道結(jié)構(gòu)（橫孔）等復(fù)雜的立體結(jié)構(gòu)，而使用以往蝕刻技術(shù)時(shí)必須要層疊玻璃才能實(shí)現(xiàn)。實(shí)際上，目前已有客戶瞄準(zhǔn)微流體展開(kāi)制造，因此有望成為無(wú)需掩模即可制造少量生產(chǎn)的MEMS等的手段。
新產(chǎn)品在晶圓狀時(shí)能夠以非常大300mm（12英寸）的尺寸供應(yīng)，在片狀時(shí)能以非常大200mm見(jiàn)方的尺寸供應(yīng)。
除此之外，肖特還在日本展出用于創(chuàng)意家電等的光敏玻璃（玻璃陶瓷），以及已開(kāi)始在智能手機(jī)指紋傳感器蓋板中采用的超薄板玻璃等產(chǎn)品。
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