應(yīng)用范圍 可對(duì)以下材料進(jìn)行涂層加工： a. 金屬材料：各種純金屬材料，合金材料，不銹鋼，電鍍器件等。 b. 非金屬材料：玻璃，陶瓷等。 可進(jìn)行下列各種涂層加工： a.純金屬：金，鉑，銀，鉻，鎳，銅，鋁等等。 b.氮化鈦系列：TiN：硬度為2300～2500HV ，磨擦系數(shù)為0.65，顏色是金黃色。 c.氮化鋯系列：ZrN：硬度為2000～2300HV ，磨擦系數(shù)為0.55，顏色是青黃色。 d.氮（碳）化鉻系列：CrN（CrC）：硬度為2000～2300HV ，磨擦系數(shù)為0.5。 e.碳氮化鈦：TiCN：硬度為3000～3500HV ，磨擦系數(shù)為0.5，顏色是灰黑色。 f.氮化鈦鋁：TiAlN：硬度為2400～2600HV ，磨擦系數(shù)為0.68，顏色是棕-紫黑色。 g.其它多種膜層和多層膜 規(guī)格及型號(hào)(配置) LD-620（A.B） 鍍膜室內(nèi)壁尺寸 ¢800-900×h800-900(mm) 有效鍍膜尺寸 ¢700-800×h600-700(mm) 工件旋轉(zhuǎn)掛具 公轉(zhuǎn)+公自轉(zhuǎn) 旋轉(zhuǎn)掛具布置方式 真空室上端 向下安裝 掛桿數(shù)量 公轉(zhuǎn)4根+公自轉(zhuǎn)8根 旋轉(zhuǎn)速度 0-5轉(zhuǎn)/分鐘（公轉(zhuǎn)）調(diào)速器調(diào)節(jié) 可鍍工件較大尺寸 ¢150-170×h550-650(mm)自轉(zhuǎn) 用途 工具鍍膜+裝飾鍍膜 被鍍工件種類 金屬 玻璃 陶瓷 塑料等 可鍍膜層種類 TiN TiAlN CrN TiC TiCN 等等 生產(chǎn)場(chǎng)地要求 5×7米 電容量要求 50Hz 380V 60KVA 冷卻水要求 ≧3噸/小時(shí)循環(huán)水 水溫25℃ 污染物排放 無(wú) 工作噪音 ≤90分貝 真空泵 2X-70粗抽泵+2X-30維持泵 羅茨泵 ZJP-150 擴(kuò)散泵 KT-400 極限真空度 優(yōu)于6×10-4 Pa 工作真空度 6.67×10-3 Pa 排氣速率 <20分鐘（從大氣-工作真空） 壓升率（漏率） ≤0.35Pa/h 真空室材質(zhì) 304不銹鋼 陰極電弧離子源 6個(gè) 電動(dòng)引弧 間接冷卻 靶材尺寸 ¢100×40(mm) 磁控濺射靶 一對(duì)（兩個(gè)） 直接冷卻 濺射靶尺寸 w100-150×h600-700(mm) 偏壓電源 20KW 20KHz逆變電源 磁控濺射電源 25KW 40KHz 中頻脈沖電源 電弧電源 6臺(tái) 0-200A電流可調(diào) 真空室加熱功率 15-18KW 溫度PID調(diào)節(jié) 控制模式 自動(dòng)（A） 手動(dòng)（B） 自動(dòng)控制配置 工控機(jī)+PLC+LCD+打印機(jī) A----計(jì)算機(jī)自動(dòng)控制型 B----控制柜手動(dòng)操作型 我們可根據(jù)您所鍍工件的尺寸大小來(lái)設(shè)計(jì)鍍膜設(shè)備。