主營:標(biāo)準(zhǔn)單槽超聲波清洗機(jī),標(biāo)準(zhǔn)多槽超聲波氣相清洗機(jī),硅片超聲波清洗機(jī),準(zhǔn)確電子零件超聲波清洗機(jī),壓縮機(jī)行業(yè)超聲波清洗機(jī)
所在地:
江蘇 常州
產(chǎn)品價(jià)格:
電議(大量采購價(jià)格電議)
最小起訂:
0
物流運(yùn)費(fèi):
買家承擔(dān)運(yùn)費(fèi)
發(fā)布時(shí)間:
2011-09-16
有效期至:
2012-03-16
產(chǎn)品詳細(xì)
概述:本設(shè)備適用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角,本設(shè)備技術(shù)先進(jìn),適用于規(guī)模生產(chǎn)。設(shè)備是由電氣控制,機(jī)架,箱體,清洗槽,機(jī)械手,伺服系統(tǒng),層流凈化,管路部分組成。清洗槽是由去離子水洗槽,有機(jī)溶劑槽,酸槽,或堿槽構(gòu)成。管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出,特采用進(jìn)口氣動(dòng)閥,PFA,PVDF,管道,全氟循環(huán)系統(tǒng)。除裝片和取片外,其余工藝均可自動(dòng)完成。電控部分:人機(jī)界面為觸摸屏,方便美觀。
常州新鑫環(huán)保洗凈技術(shù)有限公司
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