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供應(yīng)硅片腐蝕機(jī)

產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳細(xì)

概述:本設(shè)備適用于半導(dǎo)體工藝中對(duì)硅片周邊進(jìn)行濕法化學(xué)腐蝕形成均勻一致的斜角,本設(shè)備技術(shù)先進(jìn),適用于規(guī)模生產(chǎn)。設(shè)備是由電氣控制,機(jī)架,箱體,清洗槽,機(jī)械手,伺服系統(tǒng),層流凈化,管路部分組成。清洗槽是由去離子水洗槽,有機(jī)溶劑槽,酸槽,或堿槽構(gòu)成。管路部分為保證工作介質(zhì)的潔凈和避免雜質(zhì)析出,特采用進(jìn)口氣動(dòng)閥,PFA,PVDF,管道,全氟循環(huán)系統(tǒng)。除裝片和取片外,其余工藝均可自動(dòng)完成。電控部分:人機(jī)界面為觸摸屏,方便美觀。

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