主營(yíng):濺射靶材,蒸鍍材料,非晶合金金屬,半導(dǎo)體材料,高純金屬材料
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三、靶材安裝
靶材安裝過程中較重要的注意事項(xiàng)是一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導(dǎo)熱連接。如果用冷卻壁的翹曲程度嚴(yán)重或背板翹曲嚴(yán)重會(huì)造成靶材安裝時(shí)發(fā)生開裂或彎曲,背靶到靶材的導(dǎo)熱性能就會(huì)受到很大的影響,導(dǎo)致在濺射過程中熱量無法散發(fā)較終會(huì)造成靶材開裂或脫靶
為確保足夠的導(dǎo)熱性,可以在陰較冷卻壁與靶材之間加墊一層石墨紙。請(qǐng)注意一定要仔細(xì)檢查和明確所使用濺射槍冷卻壁的平整度,同時(shí)確保O型密封圈始終在位置上