3.測定范圍 ：應(yīng)力值0-2000Mpa、 應(yīng)力層高層度10-600μm

4.測定分辨能力：應(yīng)力 5Mpa 高層度5μm

5.測定精度 ：從表面算起50μm之后 應(yīng)力值±10MPa高層度±10μm（以標(biāo)準(zhǔn)片為基準(zhǔn)）

6.光源 ：LD 520nm 30mW Glass3B