2.2靶材性能與要求

　　靶材質量直接影響著薄膜的物理、外觀、力學等性能，因而對靶材質量的評判較為嚴格，主要應滿足以下要求：雜質及氧含量低、純度高；致密度高；成分與結構均勻；晶粒尺寸細小。

　　2.3劣質靶材缺點

　　a)為熔煉鉻靶燒蝕后靶面情況

　　b)靶面有凹痕為引弧針安裝不當導致的

　　c)水晶鍍膜靶材密度不夠，燒蝕后區(qū)別

　　d)等離子噴涂氧化鈦旋轉管靶不良