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海威電子束蒸發(fā)光學鍍膜設備

產品信息

產品詳細

應用場景:各種光學薄膜,如減反/增透膜、反射膜、分光膜、帶通濾光片、紅外增透/截止膜、光通信薄膜等各種膜系 技術特點:   •能夠實現0-200層膜的膜系鍍膜; •可沉積金屬膜、半導體膜、及各類化合物(氧化物、氮化物、碳化物等)膜; • 配置高精密的電子槍和離子源; • 集成電阻蒸發(fā),鍍膜工藝和膜厚自動控制,薄膜質量穩(wěn)定。

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